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SiC石墨盤 -
SiC石墨盤
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石墨托盤技術(shù)1)用于LED外延片加工石墨頂板;2)擋板結(jié)構(gòu)內(nèi)部晶片邊緣休息;3)擋板與晶片襯底到兩個(gè)層次之間的互補(bǔ)關(guān)系;4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構(gòu)成充分循環(huán)。 功能1)較低的熱膨脹系數(shù)2)thermak導(dǎo)電性更好3)穩(wěn)定的化學(xué)perfermance4)更好的耐蝕性5)較強(qiáng)的導(dǎo)電性 規(guī)范數(shù)量單位體積密度1.85克/立方厘米比電阻11 - 14 uΩm抗壓強(qiáng)度90
石墨托盤
技術(shù)
1)用于LED外延片加工石墨頂板;
2)擋板結(jié)構(gòu)內(nèi)部晶片邊緣休息;
3)擋板與晶片襯底到兩個(gè)層次之間的互補(bǔ)關(guān)系;
4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構(gòu)成充分循環(huán)。
功能
1)較低的熱膨脹系數(shù)
2)thermak導(dǎo)電性更好
3)穩(wěn)定的化學(xué)perfermance
4)更好的耐蝕性
5)較強(qiáng)的導(dǎo)電性
規(guī)范
數(shù)量單位
體積密度1.85克/立方厘米
比電阻11 - 14 uΩm
抗壓強(qiáng)度90 mpa
撓曲強(qiáng)度40 mpa
肖氏硬度60
灰分500 ppm
平均粒度20 um
膨脹系數(shù)4.5 gte
彈性模量11平均績(jī)點(diǎn)
