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石墨卡點
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工藝卡點1.提高產(chǎn)品成品率:硅片裝夾牢固,減少掉片現(xiàn)象,減少氮化硅的色差片,提高了成品率。2.工藝點鉤點小,新的圓形工藝點在硅片上的鉤點面積是1.472mm2,新的三角形工藝點鉤點面積是0.619mm2。3.使用壽命長。4.采用德國西格里高純石墨,純度高、硬度高、耐磨、使用壽命長。?
工藝卡點
1.提高產(chǎn)品成品率:硅片裝夾牢固,減少掉片現(xiàn)象,減少氮化硅的色差片,提高了成品率。
2.工藝點鉤點小,新的圓形工藝點在硅片上的鉤點面積是1.472mm2,新的三角形工藝點鉤點面積是0.619mm2。
3.使用壽命長。
4.采用德國西格里高純石墨,純度高、硬度高、耐磨、使用壽命長。
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